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GB/T 35306-2017 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法

GB/T 35306-2017 Test method for carbon and oxygen content of single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry

国家标准 中文简体 被代替 页数:12页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 35306-2017
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号(CCS)
H17 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
国际标准分类号(ICS)
77.040
发布日期
2017-12-29
实施日期
2018-07-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-

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GB/T 35306-2017 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
GB/T 35306-2017 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
GB/T 35306-2017 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
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研制信息

起草单位:
昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、新特能源股份有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、陕西天宏硅材料有限责任公司
起草人:
张云晖、韩小月、毛智慧、赵建为、刘晓霞、王桃霞、田洪先、刘明军、银波、刘国霞、蔡延国、秦榕、童孟、钱津旺、杨红燕
出版信息:
页数:12页 | 字数:16 千字 | 开本: 大16开