齐齐文库
登录
齐齐文库
下载此文档
关闭预览
  1. 当前位置：
  2. 首页 >
  3. 中国国家标准 >
  4. GB/T 34971-2017

GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南

GB/T 34971-2017 Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry

国家标准 中文简体 现行 页数：24页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 34971-2017
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
G86 半导体制造用气体处理指南
国际标准分类号（ICS）
71.040.40
发布日期
2017-11-01
实施日期
2018-02-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-

发布历史

文前页预览

GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南
GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南
GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南
免费预览已结束，剩余部分可下载查看

研制信息

起草单位：
中昊光明化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东华特气体股份有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海市计量测试技术研究院
起草人：
孙福楠、牛艳东、廖恒易、杜汉盛、王鸿、方华、陈鹰、周鹏云
出版信息：
页数：24页 | 字数：38 千字 | 开本： 大16开

推荐标准

相似标准推荐

更多>