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GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆

GB/T 34177-2017 Quartz glass wafer for lithography

国家标准 中文简体 现行 页数：16页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 34177-2017
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
Q35 光刻用石英玻璃晶圆
国际标准分类号（ICS）
81.040.30
发布日期
2017-09-07
实施日期
2018-08-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC 447)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆
GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆
GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆
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研制信息

起草单位：
中国建材检验认证集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、长沙韶光铬版有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心
起草人：
吴洁、王京侠、王友军、李弋舟、花宁、刘焕敏、肖颂华、聂兰舰、张浩运、杨晓会、杨学东、孔敏、张应语
出版信息：
页数：16页 | 字数：20 千字 | 开本： 大16开

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