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GB/T 33763-2017 蓝宝石单晶位错密度测量方法

GB/T 33763-2017 Test method for dislocation density of sapphire single crystal

国家标准 中文简体 现行 页数:8页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 33763-2017
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
H25 蓝宝石单晶位错密度测量方法
国际标准分类号(ICS)
77.040
发布日期
2017-05-31
实施日期
2017-12-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 33763-2017 蓝宝石单晶位错密度测量方法
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研制信息

起草单位:
江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、深圳市中安测标准技术有限公司
起草人:
薛抗美、黄修康、杭寅、尹继刚、田野、张永波、张毅
出版信息:
页数:8页 | 字数:10 千字 | 开本: 大16开

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