关闭预览GB/T 32999-2016 表面化学分析 深度剖析 用机械轮 廓仪栅网复型法测量溅射速率
GB/T 32999-2016 Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate:mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer
国家标准
中文简体
现行
页数：24页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 32999-2016
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
G04 表面化学分析 深度剖析 用机械轮 廓仪栅网复型法测量溅射速率
国际标准分类号（ICS）
71.040.40
发布日期
2016-10-13
实施日期
2017-09-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38)
适用范围
-
发布历史
-
2017-09
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研制信息
- 起草单位：
- 北京师范大学分析测试中心、清华大学分析中心
- 起草人：
- 吴正龙、姚文清
- 出版信息：
- 页数：24页 | 字数：36 千字 | 开本： 大16开
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