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GB/T 32652-2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料

GB/T 32652-2016 Fused quartz used for quartz ceramic crucibles for casting polycrystalline silicon

国家标准 中文简体 现行 页数:8页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 32652-2016
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
L90 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料
国际标准分类号(ICS)
31.030
发布日期
2016-04-25
实施日期
2016-11-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 32652-2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料
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研制信息

起草单位:
国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、东海县产品质量监督检验所、江苏中腾石英材料科技有限公司、中材高新江苏硅材料有限公司、中国电子技术标准化研究院
起草人:
薄雷明、程尚栩、栾振祥、张存君、王祥、许振午、李建德、管琪、冯亚彬
出版信息:
页数:8页 | 字数:10 千字 | 开本: 大16开