关闭预览GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
GB/T 32189-2015 Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope
国家标准
中文简体
现行
页数：16页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 32189-2015
相关服务
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标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H21 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2015-12-10
实施日期
2016-11-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会 (SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC2)
适用范围
-
发布历史
-
2016-11
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研制信息
- 起草单位：
- 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司
- 起草人：
- 刘争晖、钟海舰、徐耿钊、樊英民、邱永鑫、曾雄辉、王建峰、徐科
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：20 千字 | 开本： 大16开
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