关闭预览GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
GB/T 32189-2015 Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope
国家标准
中文简体
现行
页数：16页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 32189-2015
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H21 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2015-12-10
实施日期
2016-11-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会 (SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC2)
适用范围
-
发布历史
-
2016-11
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司
- 起草人：
- 刘争晖、钟海舰、徐耿钊、樊英民、邱永鑫、曾雄辉、王建峰、徐科
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：20 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- GB/T 32190-2015 气相色谱用火焰光度检测器测试方法 2015-12-10
- GB/T 32191-2015 泄漏电流测试仪 2015-12-10
- GB/T 32192-2015 耐电压测试仪 2015-12-10
- GB/T 32193-2015 气相色谱/超临界流体色谱用火焰离子化检测器测试方法 2015-12-10
- GB/T 32194-2015 手持式数字多用表 2015-12-10
- GB/T 32195-2015 无损检测仪器 质量检验规则 2015-12-10
- GB/T 32196-2015 无损检测仪器 型号编制方法 2015-12-10
- GB/T 32197-2015 机器人控制器开放式通信接口规范 2015-12-10
- GB/T 32198-2015 红外光谱定量分析技术通则 2015-12-10
- GB/T 32199-2015 红外光谱定性分析技术通则 2015-12-10
相似标准推荐
更多>- 1 GB/T 32263-2015 高纯化合物 农残分析用化合物的测定 气相色谱-电子捕获检测器(ECD)法
- 2 GB/T 32264-2015 气相色谱单四极质谱仪性能测定方法
- 3 GB/T 32265.1-2015 日用产品的易操作性 第1部分：针对使用情境和用户特征的设计要求
- 4 GB/T 32266-2015 原子荧光光谱仪性能测定方法
- 5 GB/T 32267-2015 分析仪器性能测定术语
- 6 GB/T 32268-2015 十八烷基键合相(C18)高效液相色谱柱性能测定方法
- 7 GB/T 32269-2015 纳米科技 纳米物体的术语和定义 纳米颗粒、纳米纤维和纳米片
- 8 GB/T 3227-2000 螺栓螺母用装配工具 机动套筒工具的传动四方
- 9 GB/T 3227-2008 螺栓螺母用装配工具 机动套筒工具的传动四方
- 10 GB/T 3227-2018 螺栓螺母用装配工具 机动套筒工具的传动四方
