关闭预览GB/T 31987-2015 电子工业用气体 锗烷
GB/T 31987-2015 Gas for electronic industry—Germane
国家标准
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现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 31987-2015
相关服务
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标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
G86 电子工业用气体 锗烷
国际标准分类号（ICS）
71.100.20
发布日期
2015-09-11
实施日期
2016-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-
发布历史
-
2016-05
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研制信息
- 起草单位：
- 上海华爱色谱分析技术有限公司、佛山市华特气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、西南化工研究设计院有限公司
- 起草人：
- 方华、裴友宏、郭秀丽、林宇巍、陈熔、周鹏云
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：12 千字 | 开本： 大16开
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