关闭预览GB/T 31352-2014 蓝宝石衬底片翘曲度测试方法
GB/T 31352-2014 Test methods for warp of sapphire substrates
国家标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 31352-2014
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H21 蓝宝石衬底片翘曲度测试方法
国际标准分类号（ICS）
77.040.99
发布日期
2014-12-31
实施日期
2015-09-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-
发布历史
-
2015-09
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研制信息
- 起草单位：
- 江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、北京合能阳光新能源技术有限公司
- 起草人：
- 薛抗美、魏明德、黄修康、杭寅、夏根平、肖宗杰
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：13 千字 | 开本： 大16开
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