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GB/T 31058-2014 电子工业用气体　四氟化硅

GB/T 31058-2014 Gases for electronic industry—Silicon tetrafluoride

国家标准 中文简体 现行 页数：8页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 31058-2014
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
G86 电子工业用气体　四氟化硅
国际标准分类号（ICS）
71.100.20
发布日期
2014-12-22
实施日期
2015-07-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 31058-2014 电子工业用气体　四氟化硅
GB/T 31058-2014 电子工业用气体　四氟化硅
GB/T 31058-2014 电子工业用气体　四氟化硅
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研制信息

起草单位：
核工业理化工程研究院华核新技术开发公司、佛山市华特气体有限公司、绿菱电子材料(天津)有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、贵州大学、西南化工研究设计院有限公司
起草人：
邓建平、李于教、傅铸红、汤有伦、崔学文、方华、唐安江、周鹏云
出版信息：
页数：8页 | 字数：11 千字 | 开本： 大16开

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