关闭预览GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
GB/T 30868-2014 Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers—Chemically etching
国家标准
中文简体
现行
页数：8页
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格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 30868-2014
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标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H83 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2014-07-24
实施日期
2015-02-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-
发布历史
-
2015-02
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研制信息
- 起草单位：
- 中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院
- 起草人：
- 丁丽、周智慧、郝建民、蔺娴、何秀坤、刘筠、冯亚彬、裴会川
- 出版信息：
- 页数：8页 | 字数：10 千字 | 开本： 大16开
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