关闭预览GB/T 30701-2014 表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定
GB/T 30701-2014 Surface chemical analysis—Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence(TXRF) spectroscopy
国家标准
中文简体
现行
页数：24页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 30701-2014
相关服务
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标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
G04 表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定
国际标准分类号（ICS）
71.040.40
发布日期
2014-06-09
实施日期
2014-12-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
适用范围
-
发布历史
-
2014-12
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研制信息
- 起草单位：
- 中国计量科学研究院
- 起草人：
- 王海、宋小平、王梅玲、高思田、冯流星
- 出版信息：
- 页数：24页 | 字数：31 千字 | 开本： 大16开
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