关闭预览GB/T 30116-2013 半导体生产设施电磁兼容性要求
GB/T 30116-2013 Requirements for semiconductor manufacturing facility electromagnetic compatibility
国家标准
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现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 30116-2013
相关服务
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标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L95 半导体生产设施电磁兼容性要求
国际标准分类号（ICS）
31.550
发布日期
2013-12-17
实施日期
2014-04-15
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备与材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-
发布历史
-
2014-04
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研制信息
- 起草单位：
- 工业和信息化部电子工业标准化研究院、安徽鑫阳电子有限公司
- 起草人：
- 黄英华、谭建国、刘军、周历群、钟华、冯亚彬
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：18 千字 | 开本： 大16开
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