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GB/T 29852-2013 光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法

GB/T 29852-2013 Test method for measuring phosphorus,arsenic and antimony in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry

国家标准 中文简体 现行 页数：8页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 29852-2013
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H82 光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2013-11-12
实施日期
2014-04-15
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 29852-2013 光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法
GB/T 29852-2013 光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法
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研制信息

起草单位：
信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司
起草人：
马农农、何友琴、王东雪、何秀坤、冯亚彬、裴会川、张雪囡
出版信息：
页数：8页 | 字数：10 千字 | 开本： 大16开

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