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GB/T 29557-2013 表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量

GB/T 29557-2013 Surface chemical analysis—Depth Profiling—Measurment of sputtered depth

国家标准 中文简体 现行 页数:16页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 29557-2013
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
G04 表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量
国际标准分类号(ICS)
71.040.40
发布日期
2013-07-19
实施日期
2014-03-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 29557-2013 表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量
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研制信息

起草单位:
中山大学、浙江大学、中国科学院大连化学物理研究所
起草人:
陈建、张训生、谢方艳、龚力、张卫红、盛世善
出版信息:
页数:16页 | 字数:26 千字 | 开本: 大16开