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GB/T 26251-2010 氟和氟氮混合气

GB/T 26251-2010 Fluorine and mixed gases of fluorine-nitrogen

国家标准 中文简体 现行 页数：12页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 26251-2010
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
G86 氟和氟氮混合气
国际标准分类号（ICS）
71.100.20
发布日期
2011-01-14
实施日期
2011-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 26251-2010 氟和氟氮混合气
GB/T 26251-2010 氟和氟氮混合气
GB/T 26251-2010 氟和氟氮混合气
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研制信息

起草单位：
中核红华特种气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、山东锐华氟业有限公司、核工业理化工程研究院、西南化工研究设计院
起草人：
杜伟华、贺国武、李建浩、李春晓、倪志强、邓建平、周鹏云
出版信息：
页数：12页 | 字数：15 千字 | 开本： 大16开

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