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GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术　术语

GB/T 26111-2010 Micro-electromechanical system technology—Terms

国家标准 中文简体 被代替 页数：40页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 26111-2010
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号（CCS）
L55 微机电系统(MEMS)技术　术语
国际标准分类号（ICS）
31.200
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
-

发布历史

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研制信息

起草单位：
中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学
起草人：
丁红宇、刘伟、张苹、崔波、杨拥军、叶雄英、陈迪、石云波
出版信息：
页数：40页 | 字数：62 千字 | 开本： 大16开

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