齐齐文库
登录
齐齐文库
下载此文档
关闭预览

GB/T 25915.17-2024 洁净室及相关受控环境 第17部分:粒子沉积速率应用

GB/T 25915.17-2024 Cleanrooms and associated controlled environments—Part 17:Particle deposition rate applications

国家标准 中文简体 现行 页数:32页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 25915.17-2024
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
C70 洁净室及相关受控环境 第17部分:粒子沉积速率应用
国际标准分类号(ICS)
13.040.35
发布日期
2024-08-23
实施日期
2025-03-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)
适用范围
-

文前页预览

GB/T 25915.17-2024 洁净室及相关受控环境 第17部分:粒子沉积速率应用
GB/T 25915.17-2024 洁净室及相关受控环境 第17部分:粒子沉积速率应用
GB/T 25915.17-2024 洁净室及相关受控环境 第17部分:粒子沉积速率应用
GB/T 25915.17-2024 洁净室及相关受控环境 第17部分:粒子沉积速率应用
GB/T 25915.17-2024 洁净室及相关受控环境 第17部分:粒子沉积速率应用
GB/T 25915.17-2024 洁净室及相关受控环境 第17部分:粒子沉积速率应用
免费预览已结束,剩余部分可下载查看

研制信息

起草单位:
中国工程物理研究院激光聚变研究中心、苏州安泰空气技术有限公司、苏州苏信环境科技有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、中国标准化协会、上海尚远建设工程有限公司、中国电子工程设计院股份有限公司、中国科学院大气物理研究所、烟台宝源净化有限公司、北京戴纳实验科技有限公司、广州保瑞医疗技术有限公司、谱尼测试集团股份有限公司、上海市室内环境净化行业协会、仲恺农业工程学院、科锐特(厦门)净化科技有限公司、杭州捷瑞智能装备股份有限公司、惠特科学技术有限公司、朗恒科技集团有限公司、新拓洋生物工程有限公司
起草人:
苗心向、袁晓东、王天羿、孙扬、郝胤博、吴志坚、惠旅锋、陆晶、丁禹龙、高怡婷、奚晓鹏、杨云涛、王芳、贺乐凯、丁力行、高正、魏兰、山香菊、张长安、胡思伟、黄狄文、张建国、李华新、危勇华、奚光明
出版信息:
页数:32页 | 字数:44 千字 | 开本: 大16开