关闭预览GB/T 25755-2010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
GB/T 25755-2010 Vacuum technology—Sputter-ion pumps—Measurement of performance characteristics
国家标准
中文简体
现行
页数：16页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 25755-2010
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
J78 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
国际标准分类号（ICS）
23.160
发布日期
2010-12-23
实施日期
2011-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18)
适用范围
-
发布历史
-
2011-10
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研制信息
- 起草单位：
- 北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所
- 起草人：
- 邹蒙、张勤德、朱国精、马殿理、李春影
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：19 千字 | 开本： 大16开
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