GB/T 25494-2010 吸气剂成分分析测试方法
GB/T 25494-2010 Test methods for composition analysis of getters
国家标准
中文简体
现行
页数:16页
|
格式:PDF
基本信息
标准号
GB/T 25494-2010
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
L90 吸气剂成分分析测试方法
国际标准分类号(ICS)
31-030
发布日期
2010-12-01
实施日期
2011-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
2011-05
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研制信息
- 起草单位:
- 南京华东赛斯真空材料有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究所、中国电子科技集团公司第十二研究所
- 起草人:
- 薛函迎、郭卫斌、张巨先、刘筠
- 出版信息:
- 页数:16页 | 字数:20 千字 | 开本: 大16开
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