关闭预览GB/T 24468-2009 半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范
GB/T 24468-2009 Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability,availability and maintainability(RAM)
国家标准
中文简体
现行
页数：36页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 24468-2009
相关服务
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标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L85 半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范
国际标准分类号（ICS）
17.040.30
发布日期
2009-10-15
实施日期
2009-12-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备与材料标准化技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
2009-12
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研制信息
- 起草单位：
- 中国电子技术标准化研究所
- 起草人：
- 黄英华、刘筠、张建勇、蒋迪宝
- 出版信息：
- 页数：36页 | 字数：58 千字 | 开本： 大16开
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