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GB/T 24468-2009 半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范

GB/T 24468-2009 Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability,availability and maintainability(RAM)

国家标准 中文简体 现行 页数:36页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 24468-2009
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
L85 半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范
国际标准分类号(ICS)
17.040.30
发布日期
2009-10-15
实施日期
2009-12-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备与材料标准化技术委员会
适用范围
-

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GB/T 24468-2009 半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范
GB/T 24468-2009 半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范
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研制信息

起草单位:
中国电子技术标准化研究所
起草人:
黄英华、刘筠、张建勇、蒋迪宝
出版信息:
页数:36页 | 字数:58 千字 | 开本: 大16开