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GB/T 17874-2010 电子工业用气体　三氯化硼

GB/T 17874-2010 Gases for electronic industry-Boron trichloride

国家标准 中文简体 被代替 页数：12页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 17874-2010
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号（CCS）
G86 电子工业用气体　三氯化硼
国际标准分类号（ICS）
71.100.20
发布日期
2011-01-14
实施日期
2011-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 17874-2010 电子工业用气体　三氯化硼
GB/T 17874-2010 电子工业用气体　三氯化硼
GB/T 17874-2010 电子工业用气体　三氯化硼
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研制信息

起草单位：
西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院
起草人：
孙福楠、方华、庄鸿涛、周鹏云
出版信息：
页数：12页 | 字数：11 千字 | 开本： 大16开

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