关闭预览GB/T 17864-1999 关键尺寸(CD)计量方法
GB/T 17864-1999 CD Metrology procedures
国家标准
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现行
页数：12页
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格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 17864-1999
相关服务
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标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L56 关键尺寸(CD)计量方法
国际标准分类号（ICS）
31.200
发布日期
1999-09-13
实施日期
2000-06-01
发布单位/组织
国家质量技术监督局
归口单位
SEMI中国标准化技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
2000-06
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研制信息
- 起草单位：
- 中国科学院微电子中心
- 起草人：
- 陈宝钦、陈森锦、廖温初、刘明
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：15 千字 | 开本： 大16开
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