关闭预览GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
GB/T 16527-1996 Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates
国家标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 16527-1996
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L90 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
国际标准分类号（ICS）
31.200
发布日期
1996-09-09
实施日期
1997-05-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
电子工业部标准化研究所
适用范围
-
发布历史
-
1997-05
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 长沙韶光微电子总公司、电子工业部标准化研究所
- 起草人：
- 谈仁良、吴保华、王亦林、韩艳芬
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：10 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- GB/T 17350-1998 专用汽车和专用半挂车术语和代号 1998-05-06
- GB/T 14849.11-2016 工业硅化学分析方法 第11部分：铬含量的测定 二苯碳酰二肼分光光度法 2016-08-29
- GB/T 5334-2005 乘用车车轮性能要求和试验方法 2005-10-08
- LY/T 2907-2017 血防林术语 2017-10-27
- CJ/T 3038-1995 潜水排污泵 1995-06-26
- GB 26134-2024 乘用车顶部抗压强度 2024-08-23
- GB/T 23154-2008 进出口玩具填充材料安全要求及测试方法 2008-12-30
- JJF 1082-2002 平板仪校准规范 2002-04-02
- GB/T 15843.2-2017 信息技术 安全技术 实体鉴别 第2部分：采用对称加密算法的机制 2017-12-29
- GB/T 22599-2008 水处理化学品 砷含量测定方法 2008-12-23
相似标准推荐
更多>- 1 GB/T 7247.14-2025 激光产品的安全 第14部分：用户指南
- 2 GB/T 33748-2017 农业社会化服务 农业科技信息服务供给规范
- 3 GB/T 15765-1995 房间空气调节器用全封闭型电动机—压缩机
- 4 GB/T 23628-2009 建立有害生物低发生率地区的要求
- 5 GB/T 20356-2006 地理标志产品 广昌白莲
- 6 GB/T 19183.5-2003 电子设备机械结构 户外机壳 第3部分：机柜和箱体的气候、机械试验及安全要求
- 7 GB 17378.5-1998 海洋监测规范 第5部分：沉积物分析
- 8 GB/T 42134-2022 智能制造 大规模个性化定制 术语
- 9 GB/T 31550-2015 冷链运输包装用低温瓦楞纸箱
- 10 GB/T 17634-2019 土工布及其有关产品 有效孔径的测定 湿筛法
