关闭预览GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
GB/T 16527-1996 Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates
国家标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 16527-1996
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L90 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
国际标准分类号（ICS）
31.200
发布日期
1996-09-09
实施日期
1997-05-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
电子工业部标准化研究所
适用范围
-
发布历史
-
1997-05
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研制信息
- 起草单位：
- 长沙韶光微电子总公司、电子工业部标准化研究所
- 起草人：
- 谈仁良、吴保华、王亦林、韩艳芬
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：10 千字 | 开本： 大16开
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