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GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范

GB/T 15861-2012 General specification of ion beam etching system

国家标准 中文简体 现行 页数：16页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 15861-2012
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L97 离子束蚀刻机通用规范
国际标准分类号（ICS）
31-550
发布日期
2012-11-05
实施日期
2013-02-15
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
中国电子技术标准化研究所
适用范围
-

发布历史

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GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范
GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范
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研制信息

起草单位：
中国电子科技集团公司第四十八研究所
起草人：
陈特超、周大良
出版信息：
页数：16页 | 字数：20 千字 | 开本： 大16开

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