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GB/T 1557-2018 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

GB/T 1557-2018 Test method for determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption

国家标准 中文简体 现行 页数:12页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 1557-2018
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
H17 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
国际标准分类号(ICS)
77.040
发布日期
2018-09-17
实施日期
2019-06-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 1557-2018 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
GB/T 1557-2018 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
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研制信息

起草单位:
新特能源股份有限公司、有研半导体材料有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、内蒙古盾安光伏科技有限公司、峨嵋半导体材料研究所、北京合能阳光新能源技术有限公司
起草人:
银波、夏进京、邱艳梅、刘国霞、柴欢、赵晶晶、刘文明、姚利忠、王海礼、邓浩、高明、郑连基、陈赫、石宇、杨旭、肖宗杰
出版信息:
页数:12页 | 字数:18 千字 | 开本: 大16开