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GB/T 14603-2009 电子工业用气体　三氟化硼

GB/T 14603-2009 Gases for electronic industry—Boron trifluoride

国家标准 中文简体 现行 页数：16页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 14603-2009
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
G86 电子工业用气体　三氟化硼
国际标准分类号（ICS）
71.100.20
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会
适用范围
-

发布历史

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GB/T 14603-2009 电子工业用气体　三氟化硼
GB/T 14603-2009 电子工业用气体　三氟化硼
GB/T 14603-2009 电子工业用气体　三氟化硼
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研制信息

起草单位：
核工业理化工程研究院、大连光明化工研究院、西南化工研究设计院
起草人：
邓建平、倪志强、孙福楠、周鹏云
出版信息：
页数：16页 | 字数：18 千字 | 开本： 大16开

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